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觸摸屏型Φ12英寸兼容真空/工藝氣體

高速退火加熱系統(tǒng)VPO-1000-300

VPO-1000-300工藝氣體高速退火爐

VPO-1000-300

工藝氣體快速退火爐

設(shè)備尺寸：505 x 505 x 570毫米（寬x深x高）

設(shè)備重量：約105公斤

除了原型開發(fā)應(yīng)用之外，它還可以集成到與 N2、H2 和甲酸兼容的在線系統(tǒng)中。與真空回流退火工藝和 LTO 燒結(jié)兼容！

加熱區(qū)上下設(shè)有IR（紅外線）型加熱器，最高溫度可達(dá)1000℃，并可高速升溫40K/秒。采用氮氣吹掃方式的冷卻方式，降溫速度高達(dá)190K/min。

觸摸屏用于輪廓程序控制。

除了創(chuàng)建溫度控制、氣體流量 (MFC)、真空控制等配置文件程序外，您還可以保存過程數(shù)據(jù)。

它可以加熱最大300x300mm或Φ300mm的物體。

真空工藝快速加熱爐，盡管其桌面尺寸，最高溫度可達(dá)1000℃。

兼容氮氣吹掃、氧氣吹掃、合成氣（氫氣+氮氣）吹掃等。

由于工作區(qū)域是氣體保護(hù)的，因此可用于存在污染問題的工藝或其他關(guān)鍵工藝。

加熱由頂部和底部的 48 個 IR（紅外線）加熱器進(jìn)行，可實現(xiàn)準(zhǔn)確、快速的加熱。

與適當(dāng)?shù)恼婵毡媒M合，可實現(xiàn)高達(dá)0.1Pa（10-3hPa）的真空環(huán)境。

兼容氮氣吹掃法的溫度下降

標(biāo)準(zhǔn)配備觸摸屏顯示器。通過觸摸操作輕松操作

主機上最多可注冊50個50段（行）的溫度控制程序。

可與上下料機、機器人等組合集成到生產(chǎn)線中。

最高溫度達(dá)到1000℃

標(biāo)準(zhǔn)配備設(shè)備外殼冷卻裝置。在確保安全的同時，最高溫度可達(dá)1000℃。因此，它不僅可以輕松應(yīng)對 SiAu、SiAl 和 SiMo 等退火工藝，還可以輕松應(yīng)對糊料材料等燒結(jié)工藝。

兼容高速加熱/冷卻

配備高速紅外線（IR）加熱器，最高可升溫至每分鐘2400℃以上（每秒40℃以上）。當(dāng)然，也可以以輪廓程序的任何速率升高溫度。另外，在降溫過程中，通過向腔室中供應(yīng)冷卻氮氣，可以安全地進(jìn)行冷卻，而不會損壞處理后的器件表面。

兼容各種氣體吹掃環(huán)境

最多可以安裝4個MFC（質(zhì)量流量控制器）系統(tǒng)，因此除了真空或大氣環(huán)境之外，還可以在任何工藝氣體吹掃環(huán)境中進(jìn)行退火。不僅可以在配置文件程序中注冊各種氣體系統(tǒng)的開/關(guān)控制，還可以注冊其流量，從而可以輕松再現(xiàn)各種環(huán)境。

簡單的溫度曲線設(shè)置

標(biāo)配7英寸觸摸屏。任何控制配置文件程序都可以在觸摸面板上創(chuàng)建和保存，無需單獨的外部 PC。最多可注冊并執(zhí)行 50 個 50 個步驟的溫度控制程序。此外，標(biāo)準(zhǔn)配置還包括將實驗數(shù)據(jù)保存到 USB 存儲器的功能。通過 USB 存儲器也可以輕松地將實驗數(shù)據(jù)移動到任何 PC。

垂直室開/關(guān)

腔體可通過兩側(cè)操作按鈕手動開啟和關(guān)閉，也可通過外部信號自動開啟和關(guān)閉，因此可串聯(lián)安裝。