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ROOKS 質(zhì)量流量計(jì)控制儀表 SLAMf-60
ROOKS 質(zhì)量流量計(jì)控制儀表 SLAMf-60
一臺(tái)設(shè)備支持多種氣體,最大限度地提高工藝靈活性和生產(chǎn)率。 系列彈性密封質(zhì)量流量控制器/儀表采用 Brooks Instrument 的 MultiFlo™ 技術(shù),非常適合使用多種氣體、經(jīng)常更改氣體類(lèi)型或保持氣體測(cè)量和控制精度的應(yīng)用,是系統(tǒng)、過(guò)程和設(shè)施的理想選擇。需要重新確定范圍。憑借的流量測(cè)量和控制性能,將您的過(guò)程靈活性提升到一個(gè)新的水平。
利用 MultiFlo™ 技術(shù)最大限度地延長(zhǎng)工藝生產(chǎn)正常運(yùn)行時(shí)間,該技術(shù)支持新的氣體校準(zhǔn)和滿(mǎn)量程范圍,而無(wú)需從氣體管線中拆除質(zhì)量流量控制器 (MFC)。
簡(jiǎn)單易懂的 MultiFlo™ 編程:60 秒內(nèi)即可在不同氣體選擇之間切換
減少 OEM 和大型最終用戶(hù)擁有的具有固定氣體類(lèi)型和流量范圍的控制器庫(kù)存
通過(guò)基于全球標(biāo)準(zhǔn)的高性能測(cè)量系統(tǒng)和校準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)的過(guò)程氣體精度
耐腐蝕傳感器提供傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性,確保最大產(chǎn)量和吞吐量
用戶(hù)可訪問(wèn)的服務(wù)端口簡(jiǎn)化了故障排除和診斷
彈性體密封件能夠以合理的成本在各種應(yīng)用中提供靈活的性能
支持多種協(xié)議通信接口集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中
利用 MultiFlo™ 技術(shù)最大限度地延長(zhǎng)工藝生產(chǎn)正常運(yùn)行時(shí)間,該技術(shù)支持新的氣體校準(zhǔn)和滿(mǎn)量程范圍,而無(wú)需從氣體管線中拆除質(zhì)量流量控制器 (MFC)
SLAMf50 | SLAMf51 | SLAMf53 | SLAMf60 | SLAMf61 | SLAMf63 | SLAMf64 | |
產(chǎn)品類(lèi)別 | 質(zhì)量流量控制器 | 質(zhì)量流量控制器 | 質(zhì)量流量控制器 | 質(zhì)量流量計(jì) | 質(zhì)量流量計(jì) | 質(zhì)量流量計(jì) | 質(zhì)量流量計(jì) |
差異化因素 | 設(shè)備類(lèi)型 流量范圍 | 設(shè)備類(lèi)型 流量范圍 | 設(shè)備類(lèi)型 流量范圍 | 設(shè)備類(lèi)型 流量范圍 | 設(shè)備類(lèi)型 流量范圍 | 設(shè)備類(lèi)型 流量范圍 | 設(shè)備類(lèi)型 流量范圍 |
流量范圍(滿(mǎn)量程容量) | 0.003 - 50 英里/分鐘 | 15 - 200 英里/分鐘 | 100 - 2500 英里/分鐘 | 0.003 - 50 英里/分鐘 | 15 - 200 英里/分鐘 | 100 - 2500 英里/分鐘 | 300 - 36,000 英里/分鐘 |
最大壓力 | 1500 磅/平方英寸 / 100 巴 | 1500 磅/平方英寸 / 100 巴 | 1000 磅/平方英寸 / 70 巴 | 1500 磅/平方英寸 / 100 巴 | 1500 磅/平方英寸 / 100 巴 | 1000 磅/平方英寸 / 70 巴 | 取決于流量 |
準(zhǔn)確性 | ±0.6% 的 SP | ±0.6% 的 SP | 100 - 1100 升/分鐘 ±0.6% 的 SP 1100 - 2500 升/分鐘 滿(mǎn)量程的±0.6% | ±0.6% 的 SP | ±0.6% 的 SP | 100 - 1100 升/分鐘 ±0.6% 的 SP 1100 - 2500 升/分鐘 滿(mǎn)量程的±0.6% | 滿(mǎn)量程的±1.0% |
再現(xiàn)性 | 0.20% SP | 0.20% SP | 0.20% SP | 0.20% SP | 0.20% SP | 0.20% SP | ±0.25% SP |
響應(yīng)時(shí)間 | <1秒 | <1秒 | <3秒 | <1秒 | <1秒 | <3秒 | 不適用 |
多氣體多范圍 | 標(biāo)準(zhǔn) | 標(biāo)準(zhǔn) | 標(biāo)準(zhǔn) | 標(biāo)準(zhǔn) | 標(biāo)準(zhǔn) | 標(biāo)準(zhǔn) | 標(biāo)準(zhǔn) |
診斷能力 | 狀態(tài)燈 - MFC 運(yùn)行狀況、網(wǎng)絡(luò)狀態(tài) 警報(bào) - 傳感器輸出、控制閥輸出、過(guò)溫、電源浪涌/電壓驟降、網(wǎng)絡(luò)中斷 診斷/服務(wù)端口 - RS485,通過(guò) 2.5 毫米插孔 | 狀態(tài)燈 - MFC 運(yùn)行狀況、網(wǎng)絡(luò)狀態(tài) 警報(bào) - 傳感器輸出、控制閥輸出、過(guò)溫、電源浪涌/電壓驟降、網(wǎng)絡(luò)中斷 診斷/服務(wù)端口 - RS485,通過(guò) 2.5 毫米插孔 | 狀態(tài)燈 - MFC 運(yùn)行狀況、網(wǎng)絡(luò)狀態(tài) 警報(bào) - 傳感器輸出、控制閥輸出、過(guò)溫、電源浪涌/電壓驟降、網(wǎng)絡(luò)中斷 診斷/服務(wù)端口 - RS485,通過(guò) 2.5 毫米插孔 | 狀態(tài)燈 - MFC 運(yùn)行狀況、網(wǎng)絡(luò)狀態(tài) 警報(bào) - 傳感器輸出、控制閥輸出、過(guò)溫、電源浪涌/電壓驟降、網(wǎng)絡(luò)中斷 診斷/服務(wù)端口 - RS485,通過(guò) 2.5 毫米插孔 | 狀態(tài)燈 - MFC 運(yùn)行狀況、網(wǎng)絡(luò)狀態(tài) 警報(bào) - 傳感器輸出、控制閥輸出、過(guò)溫、電源浪涌/電壓驟降、網(wǎng)絡(luò)中斷 診斷/服務(wù)端口 - RS485,通過(guò) 2.5 毫米插孔 | 狀態(tài)燈 - MFC 運(yùn)行狀況、網(wǎng)絡(luò)狀態(tài) 警報(bào) - 傳感器輸出、控制閥輸出、過(guò)溫、電源浪涌/電壓驟降、網(wǎng)絡(luò)中斷 診斷/服務(wù)端口 - RS485,通過(guò) 2.5 毫米插孔 | 狀態(tài)燈 - MFC 運(yùn)行狀況、網(wǎng)絡(luò)狀態(tài) 警報(bào) - 傳感器輸出、控制閥輸出、過(guò)溫、電源浪涌/電壓驟降、網(wǎng)絡(luò)中斷 診斷/服務(wù)端口 - RS485,通過(guò) 2.5 毫米插孔 |
模擬通訊 | 0-5 伏直流電、1-5 伏直流電、0-10 伏直流電、0-20 毫安、4-20 毫安 | 0-5 伏直流電、1-5 伏直流電、0-10 伏直流電、0-20 毫安、4-20 毫安 | 0-5 伏直流電、1-5 伏直流電、0-10 伏直流電、0-20 毫安、4-20 毫安 | 0-5 伏直流電、1-5 伏直流電、0-10 伏直流電、0-20 毫安、4-20 毫安 | 0-5 伏直流電、1-5 伏直流電、0-10 伏直流電、0-20 毫安、4-20 毫安 | 0-5 伏直流電、1-5 伏直流電、0-10 伏直流電、0-20 毫安、4-20 毫安 | 0-5 伏直流電、1-5 伏直流電、0-10 伏直流電、0-20 毫安、4-20 毫安 |
數(shù)字通訊 | 設(shè)備網(wǎng)™ 以太網(wǎng)/IP™ FOUNDATION TM現(xiàn)場(chǎng)總線 現(xiàn)場(chǎng)總線® 工業(yè)以太網(wǎng) RS-485 | 設(shè)備網(wǎng)™ 以太網(wǎng)/IP™ FOUNDATION TM現(xiàn)場(chǎng)總線 現(xiàn)場(chǎng)總線® 工業(yè)以太網(wǎng) RS-485 | 設(shè)備網(wǎng)™ 以太網(wǎng)/IP™ FOUNDATION TM現(xiàn)場(chǎng)總線 現(xiàn)場(chǎng)總線® 工業(yè)以太網(wǎng) RS-485 | 設(shè)備網(wǎng)™ 以太網(wǎng)/IP™ FOUNDATION TM現(xiàn)場(chǎng)總線 現(xiàn)場(chǎng)總線® 工業(yè)以太網(wǎng) RS-485 | 設(shè)備網(wǎng)™ 以太網(wǎng)/IP™ FOUNDATION TM現(xiàn)場(chǎng)總線 現(xiàn)場(chǎng)總線® 工業(yè)以太網(wǎng) RS-485 | 設(shè)備網(wǎng)™ 以太網(wǎng)/IP™ FOUNDATION TM現(xiàn)場(chǎng)總線 現(xiàn)場(chǎng)總線® 工業(yè)以太網(wǎng) RS-485 | 設(shè)備網(wǎng)™ 以太網(wǎng)/IP™ FOUNDATION TM現(xiàn)場(chǎng)總線 現(xiàn)場(chǎng)總線® 工業(yè)以太網(wǎng) RS-485 |
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