簡要描述:原廠HORIBA堀場 熱法 PI 質(zhì)量流量模塊SEC-Z700X系列 從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制保證高精度1秒內(nèi)高速響應(yīng)全量程(T98) 尺寸緊湊,
原廠HORIBA堀場 熱法 PI 質(zhì)量流量模塊SEC-Z700X系列
原廠HORIBA堀場 熱法 PI 質(zhì)量流量模塊SEC-Z700X系列
配備PI功能
配備最新算法,即使面對快速的壓力波動(dòng)也能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制,允許設(shè)計(jì)消除每個(gè)氣體管路的壓力控制功能。實(shí)現(xiàn)燃?xì)夤苈返暮喕?img src="https://www.chem17.com/UserManage/ueditor/themes/default/images/spacer.gif" word_img="file:///D:\My Documents\Tencent Files\3826528825\nt_qq\nt_data\Pic\2024-08\Ori\3a7ced5ca6df46b12e4de397147fec23.gif" style="background:url(https://www.chem17.com/UserManage/ueditor/lang/zh-cn/images/localimage.png) no-repeat center center;border:1px solid #ddd"/>多量程/多氣體功能允許用戶更改氣體類型和滿量程流量1秒內(nèi)全量程快速響應(yīng)由于不需要調(diào)節(jié)器、壓力表和過濾器,有助于使燃?xì)夤艿栏泳o湊。不受一次壓力或二次壓力波動(dòng)的影響配備入口壓力傳感器配備多顯示功能高精度
1% SP保證流量精度超潔凈
金屬膜片,全不銹鋼,內(nèi)部拋光標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)置網(wǎng)絡(luò)功能,采用數(shù)字信號控制。
尺寸緊湊,
可選擇的通信方式
陣容:數(shù)字/模擬、DeviceNet™、PROFIBUS®、CC-Link®、EtherCAT®
通訊方式 驅(qū)動(dòng)電源 產(chǎn)品型號
數(shù)字通訊
可滾動(dòng)的
寬廣的流量控制范圍,從 10 SCCM 到 1000 SLM
流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開始執(zhí)行
高精度:±1.0% 提高 SP 流量精度
配備數(shù)字校正功能,實(shí)現(xiàn)設(shè)定點(diǎn)精度
全流量范圍快速響應(yīng):1秒內(nèi)完成全量程
配備多氣體/多量程功能,
允許用戶改變氣體類型和滿量程流量。
在整個(gè)流量范圍內(nèi)(上升、下降、設(shè)定值到設(shè)定值)響應(yīng)時(shí)間為 100 毫秒或更短
自診斷多重診斷功能
改進(jìn)的壓力不敏感功能
高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復(fù)性 (±0.15 %SP)
兼容環(huán)境溫度范圍廣(15-60℃)
0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度
提供了過程優(yōu)化和靈活性。
小于500毫秒的高速響應(yīng)
實(shí)現(xiàn)了高生產(chǎn)率并提高了工藝性能。
減少批量生產(chǎn)穩(wěn)健的 CIP 壓力傳感器的停機(jī)時(shí)間和工時(shí),實(shí)現(xiàn)
PFA 噴嘴的閥門關(guān)閉性能和耐磨性提高了 10 倍以上
,從而減少了停機(jī)時(shí)間并優(yōu)化了產(chǎn)量。
狀態(tài)監(jiān)控功能
提供更多內(nèi)部數(shù)據(jù)并實(shí)現(xiàn)更智能的故障預(yù)測。
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