池田屋HORIBA堀場(chǎng) 無(wú)需校準(zhǔn)四極桿質(zhì)譜儀

池田屋HORIBA堀場(chǎng) 無(wú)需校準(zhǔn)四極桿質(zhì)譜儀

配備PI功能
配備最新算法，即使面對(duì)快速的壓力波動(dòng)也能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制，允許設(shè)計(jì)消除每個(gè)氣體管路的壓力控制功能。實(shí)現(xiàn)燃?xì)夤苈返暮?jiǎn)化。多量程/多氣體功能允許用戶(hù)更改氣體類(lèi)型和滿量程流量1秒內(nèi)全量程快速響應(yīng)由于不需要調(diào)節(jié)器、壓力表和過(guò)濾器，有助于使燃?xì)夤艿栏泳o湊。不受一次壓力或二次壓力波動(dòng)的影響配備入口壓力傳感器配備多顯示功能高精度
1% SP保證流量精度超潔凈
金屬膜片，全不銹鋼，內(nèi)部拋光標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)置網(wǎng)絡(luò)功能，采用數(shù)字信號(hào)控制。

尺寸緊湊，

可選擇的通信方式

陣容：數(shù)字/模擬、DeviceNet™、PROFIBUS®、CC-Link®、EtherCAT®

通訊方式    驅(qū)動(dòng)電源    產(chǎn)品型號(hào)

數(shù)字通訊

可滾動(dòng)的

寬廣的流量控制范圍，從 10 SCCM 到 1000 SLM

流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開(kāi)始執(zhí)行

高精度：±1.0% 提高 SP 流量精度

配備數(shù)字校正功能，實(shí)現(xiàn)設(shè)定點(diǎn)精度

全流量范圍快速響應(yīng)：1秒內(nèi)完成全量程

配備多氣體/多量程功能，

允許用戶(hù)改變氣體類(lèi)型和滿量程流量。

在整個(gè)流量范圍內(nèi)（上升、下降、設(shè)定值到設(shè)定值）響應(yīng)時(shí)間為 100 毫秒或更短

自診斷多重診斷功能

改進(jìn)的壓力不敏感功能

高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復(fù)性 (±0.15 %SP)

兼容環(huán)境溫度范圍廣（15-60℃）

0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度

提供了過(guò)程優(yōu)化和靈活性。

小于500毫秒的高速響應(yīng)

 級(jí)別，

尺寸僅為其他公司的 1/20，傳感器截面尺寸僅為 5 厘米。非常適合整合到設(shè)備中

該傳感器配備有由16根電極棒組成的9個(gè)四極桿部分，具有的結(jié)構(gòu)，盡管其尺寸最小，但仍實(shí)現(xiàn)了高靈敏度。

低真空（高壓）操作

當(dāng)測(cè)量總壓力高達(dá) 0.5 Pa（對(duì)于 2-65 m/z 傳感器）時(shí)，無(wú)需準(zhǔn)備額外的差壓泵系統(tǒng)。

用戶(hù)可更換的傳感器

校準(zhǔn)過(guò)濾器可以在現(xiàn)場(chǎng)輕松更換，無(wú)需拆卸設(shè)備。

一臺(tái)安裝了專(zhuān)用通信

軟件的 PC 通過(guò) RS-485 通信最多可以連接 8 臺(tái)設(shè)備。它還具有適合設(shè)備集成的模擬輸入/輸出。

用戶(hù)友好的 Micropole ScannerTM 2 軟件是為專(zhuān)用軟件QL-SG02 開(kāi)發(fā)的，可實(shí)現(xiàn) QL-SG02 的控制、數(shù)據(jù)采集、可視化和分析。