產(chǎn)品分類(lèi)
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進(jìn)口HORIBA堀場(chǎng) 標(biāo)準(zhǔn)氣體分配器設(shè)備
進(jìn)口HORIBA堀場(chǎng) 標(biāo)準(zhǔn)氣體分配器設(shè)備
在整個(gè)流量范圍內(nèi)(上升、下降、設(shè)定值到設(shè)定值)響應(yīng)時(shí)間為 100 毫秒或更短
自診斷多重診斷功能
改進(jìn)的壓力不敏感功能
高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復(fù)性 (±0.15 %SP)
兼容環(huán)境溫度范圍廣(15-60℃)
0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度
提供了過(guò)程優(yōu)化和靈活性。
小于500毫秒的高速響應(yīng)
級(jí)別,
尺寸僅為其他公司的 1/20,傳感器截面尺寸僅為 5 厘米。非常適合整合到設(shè)備中
該傳感器配備有由16根電極棒組成的9個(gè)四極桿部分,具有的結(jié)構(gòu),盡管其尺寸最小,但仍實(shí)現(xiàn)了高靈敏度。
低真空(高壓)操作
當(dāng)測(cè)量總壓力高達(dá) 0.5 Pa(對(duì)于 2-65 m/z 傳感器)時(shí),無(wú)需準(zhǔn)備額外的差壓泵系統(tǒng)。
用戶(hù)可更換的傳感器
校準(zhǔn)過(guò)濾器可以在現(xiàn)場(chǎng)輕松更換,無(wú)需拆卸設(shè)備。
一臺(tái)安裝了專(zhuān)用通信
軟件的 PC 通過(guò) RS-485 通信最多可以連接 8 臺(tái)設(shè)備。它還具有適合設(shè)備集成的模擬輸入/輸出。
用戶(hù)友好的 Micropole ScannerTM 2 軟件是為專(zhuān)用軟件QL-SG02 開(kāi)發(fā)的,可實(shí)現(xiàn) QL-SG02 的控制、數(shù)據(jù)采集、可視化和分析。
這是質(zhì)量流量計(jì)專(zhuān)用的監(jiān)控單元。
業(yè)務(wù)部門(mén):半導(dǎo)體
產(chǎn)品類(lèi)別:流體控制
制造商:HORIBA STEC, Co., Ltd.
特征
規(guī)格
流量報(bào)警輸出功能 外部輸出:集電極開(kāi)路
流量信號(hào)輸出:0~5VDC
流量顯示輸出功能
輸入電源:AC100V~240V 50/60Hz 30VA MAX
尺寸:48(W) x 96(H) x 170(D)mm(不包括突出部分)
適用標(biāo)準(zhǔn) 安全標(biāo)準(zhǔn):符合 CE 標(biāo)志、符合 EMC 指令、符合 FCC 環(huán)境兼容性:符合 RoHS 指令
兼容數(shù)字/模擬通信模型
顯示單元
這是一個(gè)以數(shù)字方式顯示流量和壓力信號(hào)(0 至 5VDC)的裝置。
業(yè)務(wù)部門(mén):半導(dǎo)體
產(chǎn)品類(lèi)別:流體控制
制造商:HORIBA STEC, Co., Ltd.
適用氣體 | CO、CO 2、C 3 H 8、NO、NO 2、SO 2、O 2 /N 2 (空氣)等 |
---|---|
氣體接觸材料 | 不銹鋼氟橡膠 |
生成流量 | 2~5升/分鐘 |
產(chǎn)生壓力 | max70kPaG(根據(jù)出口負(fù)載而變化) |
混合比例 | 0,20,40,60,80,100%FS(注) |
混合精度 | ±0.5%滿(mǎn)量程 |
重復(fù)性 | ±0.2%滿(mǎn)量程 |
響應(yīng)速度 | 10秒內(nèi) |
工作溫度 | 0~40℃ |
耗氣量 | 與生成流量相同 |
燃?xì)膺B接 | 外徑?6/內(nèi)徑?4鐵氟龍管件 |
重量 | 約2公斤 |
電源 | 不必要 |
適用氣體 | CO、CO 2、C 3 H 8、NO、NO 2、SO 2、O 2 /N 2 (空氣)等 |
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氣體接觸材料 | 不銹鋼氟橡膠 |
生成流量 | 0.2~0.5L/分鐘 |
產(chǎn)生壓力 | max70kPaG(根據(jù)出口負(fù)載而變化) |
混合比例 | 0,20,40,60,80,100%FS(注) |
混合精度 | ±0.5%滿(mǎn)量程 |
重復(fù)性 | ±0.2%滿(mǎn)量程 |
響應(yīng)速度 | 10秒內(nèi) |
工作溫度 | 0~40℃ |
耗氣量 | 與生成流量相同 |
燃?xì)膺B接 | 外徑?6/內(nèi)徑?4鐵氟龍管件 |
重量 | 約2公斤 |
電源 | 不必要 |
適用氣體 | CO、CO 2、C 3 H 8、NO、NO 2、SO 2、O 2 /N 2 (空氣)等 |
---|---|
生成流量 | 2-5L/min(取決于入口壓力) |
產(chǎn)生壓力 | max70kPaG(根據(jù)出口負(fù)載而變化) |
集中劃分 | 0,10,20,30,40,50,60,70,80,90,100%FS(注) |
分度精度 | ±0.5%滿(mǎn)量程 |
重復(fù)性 | 0.2%滿(mǎn)量程 |
拆分操作 | 手動(dòng)的 |
響應(yīng)速度 | 10秒內(nèi) |
耗氣量 | 與生成流量相同 |
外形尺寸 | 寬150×高163×深145(寬200×高195×深175) |
重量 | 3.5公斤(5.5公斤) |
電源 | 不必要 |
電話(huà)
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