簡(jiǎn)要描述:原廠(chǎng)進(jìn)口ULVAC愛(ài)發(fā)科 標(biāo)準(zhǔn)羅茨泵 池田屋實(shí)業(yè) 提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專(zhuān)為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)
原廠(chǎng)進(jìn)口ULVAC愛(ài)發(fā)科 標(biāo)準(zhǔn)羅茨泵 池田屋實(shí)業(yè)
原廠(chǎng)進(jìn)口ULVAC愛(ài)發(fā)科 標(biāo)準(zhǔn)羅茨泵 池田屋實(shí)業(yè)
特點(diǎn)
可直連羅茨泵(MBP)
使用MBP安裝組件可無(wú)需支架直接搭載MBP。
標(biāo)配熱傳感器
熱傳感器可以監(jiān)測(cè)真空泵溫度的異常上升,通知油量的減少和泵的異常。
內(nèi)置油霧過(guò)濾器的大容量油箱
大容量油箱(油容量:23~30L)減少油的更換頻率。 油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過(guò)濾器回收的油會(huì)自動(dòng)回到泵內(nèi)。 油凈化裝置去除混入的雜質(zhì)。
用途
光學(xué)膜蒸鍍?cè)O(shè)備
反射器蒸鍍?cè)O(shè)備
裝飾用蒸鍍?cè)O(shè)備
薄膜卷繞蒸鍍?cè)O(shè)備
內(nèi)嵌濺射設(shè)備
烘烤爐 /熱處理爐
凍干設(shè)備
檢漏設(shè)備
型號(hào) *1 | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | ||
最大排氣速度 | 50赫茲 | 280立方米/小時(shí) (4670升/分鐘) | 500立方米/小時(shí) (8330升/分鐘) | 1000立方米/小時(shí) (16700升/分鐘) | 1500立方米/小時(shí) (25000升/分鐘) | |
60赫茲 | 330立方米/小時(shí) (5500升/分鐘) | 600立方米/小時(shí) (10000升/分鐘) | 1200立方米/小時(shí) (20000升/分鐘) | 1800立方米/小時(shí) (30000升/分鐘) | ||
最大吸氣壓力 | 50赫茲 | 1.2×10 3帕 | 1.3×10 3帕 | 1.2×10 3帕 | ||
60赫茲 | 9.3×10 2帕 | 1.1×10 3帕 | 9.3×10 2帕 | |||
最大允許壓差 | 50赫茲 | 4.0×10 3帕 | 7.3×10 3帕 | 4.3×10 3帕 | ||
60赫茲 | 3.3×10 3帕 | 6.0×10 3帕 | 3.2×10 3帕 | |||
到達(dá)壓力 *2 | 4.0×10 -1帕 | 6.7×10 -1帕 | ||||
容許驅(qū)動(dòng)壓力 | ~1.0 x 105 Pa(大氣壓開(kāi)始型) | |||||
電機(jī) *3 | 電機(jī)類(lèi)型 | 密封三相感應(yīng)電動(dòng)機(jī) | ||||
高效率等級(jí) | ー | |||||
輸出 | 0.75 kW( 2極數(shù) ) | 2.2 kW( 2極數(shù) ) | 3.7 kW ( 2極數(shù) ) | 5.5 kW( 2極數(shù) ) | ||
電壓 (200V系統(tǒng)) | 50赫茲 | 200V | ||||
60赫茲 | 200/220伏 | |||||
液壓油 *4 | ULVOIL R-42 | |||||
油量 | 0.7 升 | 1.5 升 | 1.9 升 | |||
冷卻方式 | 水冷 | |||||
冷卻水 | 一次側(cè)壓力 | 0.3兆帕 | ||||
吸氣/排氣口壓差量 | 0.01 Mpa以上 | |||||
冷卻水量 | 2升/分鐘 | 3升/分鐘 | ||||
冷卻水溫 *5 | 5~30℃ | |||||
吸氣口 JIS-B-2290 | VF80 相當(dāng)/ ISO80F 或ISO100F (可選) | VG100 相當(dāng)/ ISO100F (可選) | VG150 相當(dāng)/ ISO160F (可選) | |||
排氣口 JIS-B-2290 | VF80 相當(dāng)/ ISO80F 或ISO100F (可選) | VF100 相當(dāng)/ ISO100F (可選) | ||||
外直徑(尺寸) W×D×H *6 | 尺寸:296×575×260 毫米 | 356×619×320 毫米 | 406×759×340 毫米 | 406×989×340 毫米 | ||
重量 | 51公斤 | 86公斤 | 118公斤 | 150公斤 | ||
標(biāo)準(zhǔn)粗抽泵 | VD601 | VD901 | VS2401 | VS2401 | ||
符合規(guī)格 | - | |||||
標(biāo)準(zhǔn)附屬品 | 泵所需油量,使用說(shuō)明書(shū) | |||||
選配件 | 未經(jīng)表面處理的泵,緊定法蘭,大氣壓?jiǎn)?dòng)類(lèi)型(逆變器), 合成油或氟油類(lèi)型,潤(rùn)滑腔排空口,不同電壓電機(jī) |
note)此目錄使用 SI單位系統(tǒng)。 使用非 SI單位制的轉(zhuǎn)換如下。
4.0 x 10-1 Pa = 3.0 × 10-3 Torr
*1 標(biāo)準(zhǔn)模型帶有表面處理 (陽(yáng)極氧化涂層)。 可選地,無(wú)需表面處理模型就可以選擇。
*2 用皮拉尼真空計(jì)測(cè)定。 (測(cè)量條件 : 標(biāo)準(zhǔn)后備泵和標(biāo)準(zhǔn)真空油。)
*3 不能選配安全增強(qiáng)型防爆型和耐壓防爆型法蘭電機(jī)。
*4 油選項(xiàng):可選擇氟油(J25F)類(lèi)型,請(qǐng)與我們聯(lián)系。
*5 在無(wú)結(jié)露的環(huán)境中使用。
*6 有關(guān)其他尺寸,請(qǐng)?jiān)L問(wèn)ULVAC網(wǎng)站并參考發(fā)布的CAD數(shù)據(jù)。
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