新產(chǎn)品ULVAC愛發(fā)科 通用渦輪分子泵YTP系列

新產(chǎn)品ULVAC愛發(fā)科 通用渦輪分子泵YTP系列

可直連羅茨泵（MBP）

使用MBP安裝組件可無需支架直接搭載MBP。

標配熱傳感器

熱傳感器可以監(jiān)測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。

內(nèi)置油霧過濾器的大容量油箱

大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。

被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內(nèi)。 油凈化裝置去除混入的雜質。

 特點

輔助泵可以選擇：輔助泵除了可以選擇搭載油回轉泵的標準型以外，還可以選擇搭 載干泵的規(guī)格。

優(yōu)良的停電對策：前級閥門為標配的電磁閥，防止停電時候逆流發(fā)生故障。

可確認粗抽狀況：標配有皮拉尼真空計，可在粗抽排氣過程中確認壓力

可排氣至UHV區(qū)

安裝選購配件的烘烤加熱器并進行脫氣處理，可以排氣至UHV區(qū)。 (*產(chǎn)品規(guī)格值)

用途

從大氣壓到高真空的排氣系統(tǒng)

各種實驗、研究裝置的排氣系統(tǒng)

高純氣體的真空置換

超高真空裝置的粗抽排氣系統(tǒng)

分析裝置的排氣系統(tǒng)

規(guī)格

規(guī)格

*1：烘烤僅可在ICF法蘭規(guī)格下進行。
*2：排氣速度為無防護網(wǎng)時的值。
*3：無保護網(wǎng)下的值。