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新款ULVAC愛發(fā)科 標準皮拉尼真空計設備

簡要描述:新款ULVAC愛發(fā)科 標準皮拉尼真空計設備
提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

  • 產品型號:SP1
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-08-12
  • 訪  問  量:129
詳情介紹

新款ULVAC愛發(fā)科 標準皮拉尼真空計設備

新款ULVAC愛發(fā)科 標準皮拉尼真空計設備

使用 安裝組件可無需支架直接搭載

標配熱傳感器

熱傳感器可以監(jiān)測真空泵溫度的異常上升,通知油量的減少和泵的異常。

內置油霧過濾器的大容量油箱

大容量油箱(油容量:23~30L)減少油的更換頻率。 油箱內置方便更換的盒式濾芯。

被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內。 油凈化裝置去除混入的雜質。

特點

安裝方向自由

安裝方向沒有限制,擴展了設備設計的自由度。

搭載控制器

控制器安裝在主體上,有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。

高壓縮比?高排氣圧力

高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實現(xiàn)小型化。

三種法蘭可供選擇

VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。

清潔真空

在運行時以及泵停止時,碳氫化合物的回流很少。

用途

分析設備、研究開發(fā)設備、實驗設備等的主排氣系統(tǒng)

蒸發(fā)設備、濺射設備等著排氣系統(tǒng)

H2、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)

用于使低溫泵運轉。將壓縮后的氦氣送出冷凍機,冷卻從冷凍機回來的高溫氦氣,使之循環(huán)

特點

  • 傳感器規(guī)格:如果需要壓力
    ·空白計劃降低
    ·控制板空間節(jié)省
    ·配線簡化

  • 確定子更換眼睛

  • 燈絲采用耐腐蝕材料鉑

  • 其中一個使用的測量組件(SP1:WP-01,02,03,16)稍后使用

  • 可以輸出2個設定點

  • SP1:壓力為0至5 V輸出(非輸出)

  • 電源電壓:24 VDC輸入

目的

  • 用于半導體?電子部件等各種制造設備的低真空領域的工藝控制

  • 用于爐等各種工業(yè)設備的低真空領域的工藝控制

  • 用于在線式?片葉式等工藝腔室多種的各種制造設備的低真空領域的工藝控制

規(guī)格

類型傳感器單元
模型SP1
兼容傳感器頭WP-01、WP-02、WP-03、WP-16

準確性


±15 %(51帕~760帕)
±30 %(10帕~1000帕)
±50 %(0.4帕~3000帕)
工作溫度范圍10~40℃
測量值輸出非線性輸出:0至5VDC(最大10V)
設定點 1/2 壓力設定調整監(jiān)視器非線性輸出:0至5VDC(最大10V)
控制輸出信號開路集電極輸出,負邏輯
錯誤信號
設定點 1/2
LED 顯示屏電源、錯誤、設定點 1、設定點 2
電源電壓DC24V±2V, 90mA(最大)
輸入/輸出連接器D-sub-15P(M2.6螺絲)
重量190g /0.41lb(不包括傳感器頭)

標準配件

輸入/輸出連接器 1個
快速手冊 1本

IO和模擬GND與電源GND不隔離。


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