簡(jiǎn)要描述:ULVAC愛(ài)發(fā)科 回轉(zhuǎn)式多傳感器 CRTS-M6 提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專(zhuān)為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)
ULVAC愛(ài)發(fā)科 回轉(zhuǎn)式多傳感器 CRTS-M6
ULVAC愛(ài)發(fā)科 回轉(zhuǎn)式多傳感器 CRTS-M6
操作性的提高:通過(guò)與PC/智能手機(jī)的連接,可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。
燈絲壽命通知功能:通過(guò)監(jiān)測(cè)燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測(cè)量范圍:復(fù)合電離真空計(jì)可以根據(jù)工藝選擇測(cè)定子。
小型化:與之前的產(chǎn)品相比,實(shí)現(xiàn)了尺寸的大幅縮小(控制器體積縮小56%),成為同級(jí)別最小的產(chǎn)品之一。
更豐富的陣容:除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外,還將增加EtherCAT規(guī)格
一臺(tái)三極管金屬電離真空計(jì)(正在申請(qǐng)):即使在惡劣的環(huán)境中,真空計(jì)的使用壽命也很長(zhǎng)。
壓力測(cè)量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~1×10-5Pa)(選配SWU10-R的情況下)。
可以精確的測(cè)量大氣壓:可以檢查腔體的開(kāi)啟情況(當(dāng)連接了可選的單元SAU時(shí))。
用途
用于有機(jī)EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)
用于在含有多種碳?xì)浠衔铮ㄓ皖?lèi))的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量
用于在真空零件加工時(shí)殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量
用于需要降低測(cè)定子更換頻率的真空設(shè)備
多傳感器
CRTS 系列
愛(ài)發(fā)科
可搭載6枚5MHz或6MHz的水晶振動(dòng)子
使用了真空電機(jī)的獨(dú)-特驅(qū)動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)了高可靠性
水晶震動(dòng)子的更換非常方便
當(dāng)檢測(cè)到水晶振動(dòng)子振蕩異常時(shí),可以自動(dòng)進(jìn)行水晶振動(dòng)子切換(當(dāng)CRTM系列用作控制器時(shí))
由于傳感器頭很?。ㄖ睆?0mm),可以靈活地連接到成膜系統(tǒng)。
光學(xué)、光通信部品的蒸發(fā)
有機(jī)物的蒸發(fā)
電子部品,其他蒸發(fā)
感測(cè)頭 | |
已裝備水晶數(shù)量 | 6 件 |
晶體容量 | 4MHz、 5MHz 或 6MHz(可選)AT 切割晶體 |
耐熱溫度 | 350℃ |
冷卻水量 | 1升/分鐘 |
重量 | 1公斤 |
方面 | Φ50mm x H 約89mm |
控制器 | |
數(shù)字輸入 | 初始化、計(jì)數(shù)、停止 |
數(shù)字輸出 | 傳感器編號(hào)、忙碌、錯(cuò)誤、重試、結(jié)束 |
公用事業(yè) | DC24V,3.0A |
尺寸 寬×深×高 | 100 毫米 x 252 毫米 x 99 毫米 |
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