簡要描述:ULVAC愛發(fā)科 UNECS-1500A 分光橢偏儀 提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計
ULVAC愛發(fā)科 UNECS-1500A 分光橢偏儀
ULVAC愛發(fā)科 UNECS-1500A 分光橢偏儀
操作性的提高:通過與PC/智能手機(jī)的連接,可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。
燈絲壽命通知功能:通過監(jiān)測燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測量范圍:復(fù)合電離真空計可以根據(jù)工藝選擇測定子。
小型化:與之前的產(chǎn)品相比,實(shí)現(xiàn)了尺寸的大幅縮小(控制器體積縮小56%),成為同級別最小的產(chǎn)品之一。
更豐富的陣容:除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外,還將增加EtherCAT規(guī)格
一臺三極管金屬電離真空計(正在申請):即使在惡劣的環(huán)境中,真空計的使用壽命也很長。
壓力測量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~1×10-5Pa)(選配SWU10-R的情況下)。
可以精確的測量大氣壓:可以檢查腔體的開啟情況(當(dāng)連接了可選的單元SAU時)。
用途
用于有機(jī)EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)
用于在含有多種碳?xì)浠衔铮ㄓ皖悾┑沫h(huán)境中進(jìn)行測量
用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測量
用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備
具有映射功能的自動平臺類型
高速測定:
的快照方法可實(shí)現(xiàn)高達(dá)20 ms的高速測量。
適用于可見光譜:
波長范圍可選標(biāo)準(zhǔn)類型(530nm至750nm)和可見光譜類型(380nm至760nm)。
緊湊型傳感器單元:
光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的光學(xué)部件組成,因此非常輕且緊湊,并且不需要定期維護(hù)。
豐富的產(chǎn)品陣容:
產(chǎn)品陣容應(yīng)用廣泛,包括如 的便攜類型,手動/自動平臺類型,大型基板類型,以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置類型。
透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蝕劑,ITO等)的膜厚,折射率,消光系數(shù)的測量
型號 | 1500年 | 2000年 | 3000A | |
波長范圍 | 530~750nm、380~760nm(選擇) | |||
點(diǎn)直徑 | Φ1mm、Φ0.3mm(選擇) | |||
入射角度 | 70o固定 | |||
膜厚再現(xiàn)性 | 1σ = 0.1納米 | |||
膜厚范圍 | 1納米~2微米 | |||
測量時間 | 光接收:20ms至3000ms計算:300ms | |||
平臺 | Φ150mm自動 | Φ200mm自動 | Φ300mm自動 | |
自動測量 | 200點(diǎn) | 200點(diǎn) | 2,000點(diǎn) | |
控制PC | 筆記本類型(帶操作/分析軟件) | |||
機(jī)器構(gòu)成 | 測量本體、控制器、操作PC(筆記本型)、使用說明書(CD) |
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