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INTECS英特斯 晶圓截面形狀測定裝置燈 WEMS
INTECS英特斯 晶圓截面形狀測定裝置燈 WEMS
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概述
該設(shè)備可無損測量半導(dǎo)體晶片的橫截面尺寸,并且可以測量邊緣尺寸、角度和半徑。 可測量的晶圓尺寸約為2至12英寸,晶圓更換工作很容易
視頻縮放器規(guī)格 視頻縮放器使用說明書
設(shè)備規(guī)格
測量范圍
厚度約2000μm(*1) 深度約1500μm
展示19英寸液晶顯示屏有效顯示像素數(shù)768×494數(shù)據(jù)存儲介質(zhì)SD內(nèi)存操作方法操縱桿、開關(guān)測量功能尺寸、角度、半徑判斷方法專用參考圖案印刷方式打印機(jī)(*可選)使用環(huán)境
環(huán)境溫度:10℃~30℃,
濕度:80%以下,無凝露環(huán)境
。無強(qiáng)磁、強(qiáng)振動、無灰塵的環(huán)境。
電源AC100V±10% 50/60Hz 150W(不含打印機(jī))
*1 如果尺寸接近尺寸,測量對象和測量結(jié)果會出現(xiàn)重疊的區(qū)域。
各種功能
尺寸測量通過兩個測量點,可以測量兩點之間的垂直和水平尺寸(倒角深度、倒角)。角度測量可以通過兩個測量點來測量倒角角度。半徑測量通過三個測量點,可以測量連接這三個點的圓的半徑。批量測量通過四個測量點,可以測量左倒角深度、右倒角深度、左倒角、右倒角總厚度、剩余倒角厚度、左倒角角度和右倒角角度。
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